中文名称:三氟甲烷
中文别名:氟仿
CAS No:75-46-7
EINECS号:200-872-4
分子式:CHF3
沸点:-155°C
闪光点:-112
折射率:1.00043 (25 C)
密度:-84
外观无色 气体
用途:1.用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。 2.电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一,尤其是对二氧化硅膜的刻蚀,具有刻蚀速度快,选择性好的优点。此外,氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。